半导体用螺杆真空泵应用领域，国产干式螺杆真空泵在晶圆产线的应用

半导体产业快速发展，真空设备作为半导体装备配套，市场需求持续上涨，半导体用螺杆真空泵凭借干式洁净的特性，大量应用在各类半导体晶圆制造工艺中。

半导体晶圆制造分为前道、后道工序，前道制程是半导体用螺杆真空泵主要应用场景。刻蚀工艺中，真空泵持续抽走反应后的腐蚀性工艺气体，维持反应腔稳定真空；化学气相沉积 CVD、PECVD 工艺，依靠螺杆真空泵建立低污染真空环境，保证薄膜均匀沉积；离子注入、晶圆去胶、脱气、清洗工艺，同样大量配套半导体干式螺杆真空泵。

除前道晶圆加工外，半导体封装测试环节也会用到半导体用螺杆真空泵。封装过程中的等离子清洗、塑封脱泡、真空烘烤，需要洁净无油真空环境，干式螺杆泵不会产生油污污染芯片，保障封装品质。

传统真空方案，常采用罗茨泵 + 干泵组合，而新一代半导体产线，越来越多直接采用半导体用螺杆真空泵，结构更简洁，减少机组故障点。国产半导体螺杆真空泵近些年技术突破，在转子加工精度、防腐处理、颗粒控制上不断提升，相比进口设备拥有更短交付周期、更低维保价格，成为国内晶圆厂、功率半导体产线的优选。

半导体工艺尾气存在腐蚀、粉尘问题，半导体专用螺杆真空泵可搭配前置除尘、冷凝装置，保护泵体，延长使用寿命。设备运行时振动低、颗粒产生少，满足半导体严苛洁净车间要求。

未来，随着功率半导体、第三代半导体产线持续落地，半导体用螺杆真空泵市场需求将持续增长，国产干式真空设备也将持续迭代，助力半导体产业链自主配套。